Magnetic Current Imaging System(Circuit Scan? 1000)

半导体内的工作电路在器件表面附近产生外部磁场。这些磁场虽然强度较弱，但包含有关电路内流动的电流密度的空间变化的信息。

Micro Magnetics 开发了 CS1000 来实际利用这些信息，并以非破坏性方式为工程师提供有关电路内部情况的宝贵信息。

Circuit Scan 1000 是一款扫描磁显微镜，能够捕获操作电路产生的外部磁场，然后分析这些磁场以提供电流密度分布图，空间分辨率约为数十纳米。

该系统采用具有深亚微米空间分辨率的专有超灵敏磁传感器技术，该技术初是由布朗大学纳米物理和设备小组开发的。

CS1000 可通过任何电介质或有色金属覆盖层以小尺度映射电流，并在集成电路中的整个信号范围内具有卓越的线性响应。我们专有的磁传感器具有宽频率响应 (0-5 GHz)，

并且热稳定，无需特殊的环境控制。此外，它们还具有出色的空间分辨率，可解析迄今为止小至 60 纳米的特征，该特征尺寸远低于当前半导体行业的水平。

该系统设计简单且易于使用。CS1000 的标配功能包括光学和/或 NIR 导航和 ROI 选择、自动场和电流密度图叠加、样品表面检测和绘图、自动样品倾斜和轮廓校正、五种不同的接触式和非接触式扫描模式、小型垂直传感探头、直观的图像拼接、自动改变参数的“重复扫描”功能以及套校准功能。

该系统还包括我们强大的 VIsta 立分析包，具有灵活的数据显示和解释功能，用于提取所有相关电流参数（包括电流幅度和导体宽度和深度）的定量分析包，两种强大的电流密度转换算法，紧凑的数据文件格式、将数据和图像导出为通用文件格式、图像比较和减法套件以及磁和电流密度图的自动叠加。