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AIXUV
德国AIXUV GmbH www.aixuv.deAIXUV 有限公司是一家Extreme Ultraviolet radiation-XUV（极紫外线辐射）系统光源和部件的供应商。该公司的核心产品是基于压缩气体发光的EUV（极紫外线）灯，这种灯主要用于EUV 平板印刷元件的开发，或作为一种新的分析手段。XUV（极紫外线辐射）的光谱范围介于X- 光和真空紫外线之间。在此范围内，内核电子的光电效应占主导地位。XUV 光谱范围包括X 软光（用来检测活细胞）和EUV（可能应用于将来的芯片平版印刷）。EUV 同时支持10 纳米级的横向解析度和最…… 详情>
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