美国产品商标: emsBrand,： 1050Item#, EMS1050 低温灰化仪

EMS1050 低温灰化仪

应用领域：

l 生物芯片领域

l 医用材料、光学材料研究

l 电子半导体领域

l 高分子材料研究

l 电化学、高端零部件处理

l 有机材料的灰化、刻蚀

仪器性能：

l 自动调频高频发生器

l 内置旋转真空泵

l 此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀

l 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)

l 真空监测.

l 双重气流针阀控制

l 精确时间定时

l 微处理器程序设置

l LCD状态数字显示

l 腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便

l 聚碳酸脂安全防护

技术参数：

电镜有机样本的刻蚀尺寸	450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
工作腔室	派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) (硼硅酸盐玻璃为标准配置)
重量	25Kg
等离子体输出	最大150w，13.56 MHz 。
等离子体输出	最大150w，13.56 MHz 。
真空度	>ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
时间控制	最长可设置99小时59分钟
双重气流控制	双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准 5-100cm3/min air at A.T.P)
电源	230 V， 50Hz (3 amp Max)

订购信息：