英国Q150GB全自动高真空溅射镀膜仪（用于手套箱）
英文名称： Glove box coating system
型号:： Q150GB
价格:请致电：010-57128832,18610462672
品牌: 英国    产品商标: quorum

技术参数：
技术规格
仪器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 总重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸盐玻璃152mm Dia (内部) x 214mm H
安全钟罩:整体PET
样品台：直径为50mm的旋转样品台。转速8-20 rpm
真空范围: 10-5 mbar量级
溅射可选靶材：Au金、Au/Pd金钯合金、Pt铂、Pt/Pd铂钯合金、Ag银、Al铝、C碳、Cr铬、Co钴、Cu铜、Fe铁、Ir铱、Mg镁、Mo钼、Ni镍、Pd钯、Sn锡、Ta钽、Ti钛、W钨、ITO氧化铟锡等

蒸发源：可选用碳棒进行热蒸发镀碳，也可使用钨丝篮或钨舟/钼舟进行热蒸发镀各种金属膜。

主要特点：
• 可安装在手套箱内的模块化系统
• 整体手套箱压力监测
• 金属溅射、碳蒸发 – 或二者兼有
• 触摸屏控制模块置于手套箱外部操作
• 镀膜颗粒精细
• 高真空涡轮分子泵抽真空
• 可选通过膜厚***仪实现厚度控制