FLY-MX导电粒子FPD显微镜大行程移动平台设计MX系列机型采用4\6平台设计，可透用于相应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。MX-4R/MX4RT:4英寸平台，移动范围：105mmX105mmMX-6R/MX6RT:6英寸平台，反射照明移动范围：158mmX158mm，透射照明移动范围100mmX100mm;带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动。超长工作距金相物镜全新设计的超长工作距物镜，采用半复消色差技术，并使用多层宽带镀膜技术，使整个视场内的成像清晰锐利，色彩自然，明亮舒适。高性能物镜转换器MX机型的转换器采用精密轴承设计，转动手减轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制。