《主要特点》

l         三轴移动。

l         粗调行程：X移动最大距离为40mm、Y移动最大距离为20mm、Z移动最大距离为40mm。

l         微调行程：X移动最大距离为7mm。一圈250μm.

l         X移动最高分辩率10μm。