Hitachi SU8020日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，极大丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度。日立电子显微镜SU8020特点：1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成 项目 SU8020 SU8030 SU8040二次电子分辨率 1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm） 1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm）加速电压 0.1～30kV观测倍率 20～8000,000(底片输出) 60～2,000,000（显示器输出）样品台马达驱动 5轴 REGULUS样品台行程 X 0～50mm 0～110mm Y 0～50mm 0～110mm 0～80mm Z 360° T -5～70° R 1.5～30mm 1.5～40mm最大装载尺寸 100mm（最大） 150mm（最大） 150mm（最大） 150mm（选配） 200mm（选配） 探头标配 Lower 高立体感图像 Upper 高分辨SE、LA-BSE图像 Top SE的电位衬度像、HA-BSE图像 选配 STEM 明场像、暗场像 YAG 探头 BSE图像 半导体探头 BSE图像 EBIC 电子束感生电流图像 EDS 元素分析反污染措施冷指 标配物镜光阑 内置自清洁功能电子枪 内置加热器真空系统离子泵 3台分子泵 1台机械泵 1台