NanoFocus μsurf explorer光学轮廓仪(非接触三维表面测量系统/3D显微镜)
英文名称: NanoFocus μsurf explorer
型号:: μsurf explorer
价格:请致电:010-57128832,18610462672
品牌: 德国    产品商标: nanofocus

 

NanoFocus(德国)

 μsurf 系列

NanoFocus μsurf explorer光学轮廓仪(非接触三维表面测量系统/3D显微镜)

品牌:德国NanoFocus

型号:μsurf explorer

 

n         产品介绍

μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。

NanoFocus μsurf explorer机台功能齐全,结构紧凑,性价比高,并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力。

        

 

n         应用

μsurf系列用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。

ü         精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸、刀口等;

ü         生命科学:测量stents支架上镀层厚度等

ü         微电子机械系统:微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等

ü         半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计

ü         太阳能:电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量,制绒后3D形貌表征(单晶金字塔大小、数量、角度,多晶腐蚀坑形貌、密度),粗糙度分析等

ü         纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量

 

n         技术参数

LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

测量时间:5~10

测量原理:非接触、共聚焦

X/Y方向,平台移动范围:50mmX50mm,马达驱动,分辨率:0.3μm

Z方向测量范围:250μm,分辨率:2nm

物镜:10X20X50X100X(可选)

计算机:高性能计算机控制系统,功能全面的软件,有拼接功能,

工作电源:100-240V, 50-60Hz, input<45W

材质:钢铁、橡胶、大理石

外型尺寸:710x270x330 mm (HxWxD)

重量:28KG

洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

 

 

设备咨询联系人:

Ronnie Chen(上海巨纳)         +86-21-61533166    nanofocus@163.com

Frank Ding(NanoFocus中国)    +86-13817790990    frankding@foxmail.com

 

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LED反射光照明

LED 环型灯反射光照明

可选配附件       

数码摄影附件、数码摄像附件、平板架台

注: 为标准配置, 为选购配件