椭圆率计
英文名称: Elliposometer
型号:: M-210/220/230/240/550/ELC-300
价格:请致电:010-57128832,18610462672
品牌: 日本分光(株)/jasco    产品商标: jasco日本分光

 

日本分光制的椭圆计配有日本分光专利产的PEM双重锁定方式和光伺服・光参考方式,实现高速性和高安定性。由于偏光素子的轴配置适合特别薄的膜和微小的偏光测量,所以主要用于向高集积化和高精细化发展的半导体及高机能光学薄膜等材料的评价。

规格

M-210/220/230/240/550/ELC-300

型号

M-210

M-220

M-230

M-240

M-550

ELC-300

测量方法

PEM双重锁定方式、光伺服/参照控制方式

分光器

-

双单色器
自动波长驱动装置

双单色器

260900nm
单单色器

9001700nm
自动波长
驱动装置

单单色器
自动
驱动装置

双单色器
自动波长
驱动装置

测量波长

He-Ne激光
   (632.8nm)

He-Ne激光(632.8nm)
   Xe
光源
   (260
860nm)

He-Ne激光
   (632.8nm)
   Xe
光源

(240700nm)

He-Ne激光
   (632.8nm)
   Xe
光源

(26900nm)
卤素灯

(9001700nm)

Xe光源
   (350
800nm)

He-Ne激光
   (632.8nm)
   Xe
光源
   (260
860nm)

入射角范围

40゜~ 90
连续自动设定
0.01间隔

45゜~ 90
连续自动设定
0.01间隔

40゜~ 90
连续自动设定
0.01间隔

膜厚测量范围

099999

测量时间

1msec以上

20μsec16sec

测量准确度*

屈折率 ±0.01

膜厚 ±1

消衰係数 ±0.01

*准确度是指测量时间100msec以上。另外、根据表面状、膜质不同准确度也不同

样品室

样品垂直放

样品水平放

样品垂直放

检测器

光子(Glan-Taylor棱镜
紫外可见区域:光子倍増管 近红外区域InGaAs-PIN电二极管M-240

 

软件

主机标准

1.时间变化测量

2.膜厚测量
   3.Δ-Ψ

   4.
谱测量・解析*1
   5.
诱电计算*1
   6.
反射率计算*1
*1 M-210型号不是分光型不可使用

选项程序

1. 映射测量(自X-θ映射台)
   2.
层膜解析*2
   3.
多入射角测量
   4.
灵敏度模*2
   5.
波长Cauchy光谱*3
   6.
椭圆率测量・解析、测量波长固定复屈折(带异方性解析台)*3
   7.
测量3次元屈折率(需要异方性解析台)*3
   8.
测量光弾性定数(光弾性测量用透过台*3

*2 M-210不是分光型的不能使用
   *3 M-550
不能测量透过不能使用。