残余气体分析仪 |
型号:: RGA系列 |
价格:请致电:010-57128832,18610462672 |
品牌: 美国 产品商标: srs |
PG108真空计及配套离子规 PG108 对流增强真空计采用全金属,刀口铜质密封垫片。测试范围从1000Torr 到真空,并且可以兼容超高电压,工作温度可达150℃,兼容IGC100 控制器,随时读取数据。快速响应时间,高精确,高稳定性。 Bayard-Alpert 离子规有玻璃、金属和特高压几种类型;灯丝类型有ThO2/Ir 或 tungsten,单丝或者双丝。根据不用压强和连接方式来确定规格。 RGA系列残余气体分析仪 可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。 • 100,200,和300amu优于1amu的分辨率6个量级的动态范围可检测5 x 10-14Torr • 实时RGA Windows和LabVIEW软件质谱,泄漏检测和压力对时间方式现场可更换的电子倍增器和灯丝RS232计算机接口 探测器类型 标准法拉第杯(FC), 可选电子倍增 (EM) 分辨率优于0.5amu 灵敏度(A/Torr) 2 × 10−4 (FC), <200 (EM) 探测极限 5 × 10−11 Torr (FC), 5 × 10−14 Torr (EM) 测试范围 10−4 Torr to UHV (FC) 10−6 Torr to UHV (EM) 操作温度70℃ (max.) 工作温度300℃ (without ECU) |