主要功能及技术指标
头部系统：

样品尺寸：φ≤10mm
扫描范围：10μm×10μm
轻敲模式分辨率：XY方向：0.4nm,
　　　　　　　　Z方向：0.1nm
针尖逼近行程及精度：行程≥10mm，
　　　　　　　　　　精度≤0.1μm
步进电机自动驱近
电子学控制系统：

高性能DSP数字控制
采用高速16bit DAC
扫描速度：62500点/秒
高压放大器动态范围：400V
可对压电陶瓷管的扫描过程进行自动校正
PC与控制箱并行接口
软件系统：

基于windows98操作系统，用户界面友好，易学好用
支持双显示系统
扫描模式：
AFM：轻敲模式、接触模式（contact）
STM：恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线
采样数：128、256、512点/行
可同时打开两个实时图像窗口，分别对应于二个图像通道
实时控制参数的设置、修改方便、实时性好。能立即反映到图像窗口中。
计算机离线文件浏览：斜面校正、滤波、平滑、反转等
动态连接库支持电子学控制硬件升级
采用32位VXD驱动程序

轻敲模式简介

特别适合于生物及其它软样品的ＡＦＭ。其特点是扫描过程中微悬臂是振荡的，针尖随着振荡间接地与样品接触，同时由于接触非常短暂，因此剪切力引起的对样品的破坏几乎完全消失，克服了常规扫描模式的局限，从而可以对柔软、易碎和粘附性较强的样品成像。