贝克曼库尔特MET ONE 3411便携式空气颗粒计数器
            
        
        
            
MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界领先的 ISO 21501 数据准确性和再现性，是业内最洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
             
            
 
            
        
    
基本描述：
便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在

• 可让您的洁净室保持洁净
 0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染

• 热插拔电池-百分百确保仪器长时间连续运行
 由于仪器使用的是热插拔电池，故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机

• 测试向导（Test Wizard）能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
 可在***您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

• 顺序采样系统
 可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场***解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

• 灵活的通讯方式——设置简单，数据传输方便
 供选择的无线，以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统，或者客户已有***软件，以便减少文书工作

• 直观的用户界面
 简便的区域，位置和运行参数的配置和复制，节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中，从而消除参数设置错误，并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划！

• 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
 专用于满足特殊颗粒计数要求，仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。
 
应用领域：
专应用于半导体行业的空气颗粒计数：
• 洁净室验证监测
• 洁净室的分级
• ISO14644洁净室验证
• 洁净室颗粒物监测
• 生产过程的连续监测
• 颗粒污染源的排除过程
• HEPA过滤器检漏，粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
• 过滤器扫描
• 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体，流量会自动调整
 
 
产品参数：
    
        
            
通道个数
            
 6
        
        
            
 粒径
            
 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
        
        
            
 光源
            
 氦氖激光器
        
        
            
 重量
            
 不含电池：15.9 公斤，电池：0.66 公斤
        
        
            
 尺寸
            
 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x  			高)
        
        
            
 机箱材质
            
 便于清洗的钝化不锈钢
        
        
            
 流速
            
 1.0 CFM (28.3 LPM)
        
        
            
 零计数
            
 ISO 21501-4 和 JIS B 9921  			标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
        
        
            
 符合损失
            
 在 50,000 /ft3 时，为5%，符合ISO  			21501-4标准
        
        
            
 泵的类型
            
 可供连续使用的专利的多瓣闭路循环控制泵
        
        
            
 计数效率
            
 在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B  			9921，粒径大于0.15µm时为 100%
        
        
            
 运行温度
            
 10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%，无冷凝
        
        
            
 显示
            
 ¼ VGA 彩色 TFT 触摸屏
        
        
            
 打印机
            
 高速热敏打印机
        
        
            
 语言
            
 英语，法语，德语，意大利语，西班牙语，韩语*，日语*，中文
        
        
            
 可以显示的最大数值
            
 9,999,999 displayed
        
        
            
 延迟时间
            
 15秒钟至23小时59分59秒
        
        
            
 采样/停留时间
            
 1秒钟至23小时59分59秒
        
        
            
 计数警报
            
 1~ 9,999,999 个计数值
        
        
            
 位置
            
 编号：0 至 999; 名称:文字描述，显示在打印输出资料上
        
        
            
 数据存储
            
 5,000 个样品， 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或  			Overflow)
        
        
            
 输出
            
 USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为  			1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432  			型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
        
        
            
 锂电池，可充电、可热插拔
            
 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
        
        
            
 输入
            
 空气速度探头，相对湿度/温度探头
        
        
            
 自动 CDA 清洗
            
 连接到CDA之后，清洗电磁阀会被激活
        
        
            
 电源
            
 24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
        
        
            
 电池类型
            
 智能锂电池，可充电，可热插拔
        
        
            
 电池使用时间
            
  最短 3 小时
        
        
            
 电池的充电时间
            
 电池的充电时间
        
        
            
 包含电池数量
            
 2组
        
    
 

空气颗粒计数器生命科学标准及委员会：
• 国际标准化组织 (ISO)
• ISO14644洁净室及相关受控环境
• ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
•  		环境科学与技术研究所 (IEST)
 
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