源瓶
英文名称: YUANPING
型号:: wayes-YP
价格:请致电:010-57128832,18610462672
品牌: 北京    产品商标: wayes-vac

 维意真空ALD/MO源瓶

*** 源瓶(起泡器)用于固态、液态及气态超纯物料类的封装,涉及微正压、

常压、中低压的危险化学品,所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要

求。

 

*** 源瓶特点

 

1、所有管件采用316L不锈钢,内部经400目机械抛光和电化学抛光,Ra≦0.25微米;

2、阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择;

3、密封垫片选用纯银镀镍垫片;

4、氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;

5、可盛装化学品纯度≧99.9995;

6、总残余元素量≦50PPb;

7、坠落试验,通过国家商检部门检测;

8、介质,TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;

9、可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的交叉清扫处理等;

10、可提供非标定做。