ARS低温真空探针台
ARS生产的低温真空探针台广泛应用于半导体器件及各种材料的变温（4K-400K安装高温台可到700K）电学测试。
ARS探针台可根据用户实验，选配DC、微波或光纤探针臂等。
应用领域：
l 微波测试
l 直流、射频性能
l MEMS
l 纳米电子学
l 超导性测试
l 纳米电路的电学和光学性质
l 量子学
l 非破坏性质测试
标准配置：
l 10”不锈钢真空室
l 8”镀镍无氧铜防热辐射屏
l 2”样品台
l 高纯石英观察窗
l 4个XYZ微操作探针臂
l 直流，微波或光纤探针
l 控温系统：高精度控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12 mK）、加热器
l 观测系统：7:1变焦显微镜<1um分辨率、环形光源、24”高分辨率显示器
l 三级减振系统，样品台振动<1um
可选配置：
l 8探针臂
l 更多测试线
l 磁体环境
l 超低振动
l 4K\5.5k\10K制冷机
l 分子泵组
l 800K高温台
l 定制温度计安装
l 定制窗口材料
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