超纯水电导率≤0.1μs/cm@25℃;电阻率:18.254MΩ. cm@25℃ 达到美国CAP、ASTM、NCCLS标准及中国国家电子一级超纯水标准 微粒子(大于0.1μm)含量: <1/ml 热源含量:<0.005Eu/ml 微生物含量:<1cfu/ml 总有机碳量TOC:<5ppb 金属阳离子含量(单位PPb): Fe(铁)<0.005 Cu(铜) <0.005 Al(铝) <0.005 Ni(镍) <0.005 Zn(锌) <0.02 Cr(铬) <0.005 Na(钠) <0.01 K(钾) <0.02 阴离子含量(单位PPb): Ci-(氯) <0.01 NO2-(亚***根) <0.02 NO3-(***根) <0.02 So42-(硫酸根) <0.01 |