| 原子层沉积系统.P-1000量产型 |
| 型号:： P-1000量产型 |
| 价格:请致电：010-57128832,18610462672 |
| 品牌: 芬兰 产品商标: picosun™ |
原子层沉积系统.P-1000量产型产品概述 原子层沉积系统.P-1000量产型在ALD制程机理方面的专业水准确保量产工艺水平稳步提高——即使是面对最有挑战性的化学前驱体以及复杂结构的衬底。Picosun的技术支持部门随时为客户提供多种形式的咨询服务，服务包括从制程工艺到设备维护与设备定制等。我们可以提供DEMO试验，从而确保客户购买的是最优化的、最能满足客户需求的设备。 原子层沉积系统.P-1000量产型 基本特征参数 基本尺寸和类型 450 mm 晶圆，批量沉积，可达40片/批次 300 mm 晶圆，批量沉积，可达80片/批次 200 mm晶圆，批量沉积，可达12 x 25 片/批次 156 mm x 156 mm 硅片，批量沉积，800~1000片/批次（双面/背靠背式） 400 x 600 mm 玻璃基板，批量沉积，30/50片/批（双面/背靠背式） 3D样品(450 x 450 x 650 mm)，如钢铁、铝锭、塑料、银饰等 粉末与颗粒 微通道基板，多孔或通孔衬底 允许深宽比高达1000:1以上 工艺温度 50 – 500 °C 基片传送选件 气动升降加载，自动化加载 前驱体 液态，固态，气态，臭氧源 源瓶容量传感器，并提供清洗和装源服务 8根独立源管线，最大加载12个前驱体源 原子层沉积系统.P-1000量产型 规格 重量 2000kg 尺寸 (W x H x D) 2300 cm x 2700 cm x 1250 cm 原子层沉积系统.P-1000量产型 配套设施 电源 400 V，三相，含零线 ； 200-210V，三 相，50/60 Hz 保险丝3 x 16 A 功率大小根据选件而定 真空系统 推荐抽速：≥ 420 m3/h 颗粒捕集器和反应残留物燃烧室 载气 99.999 % N2 / Ar,≥ 2 slm 压缩空气 5 – 6 bar 冷却水 只用于干式真空泵、臭氧发生器、QCM,反应器无需冷却水 排气系统 真空泵，气源柜 原子层沉积系统.P-1000量产型 选件 集群系统，超高真空兼容，自动样品传送，尾气处理器，N2发生器，手套箱集成，现有生产线软件对接
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