 | ★高质量的透射电镜样品的前处理。离子切片仪制备薄膜样品比传统制备工具快速、简单。低能量、低角度（0°到6°）的氩离子束通过遮光带照射样品，大大降低了离子束对样品的辐照损坏。 |
★采用新开发的快速离子源即使是柔软的材料,制备的薄膜质量也极好，对不同成份的样品甚至含有多孔合成物也都能够有效制备。 |  |
 | ★快速制备。快速制备 |
产品规格
| 离子加速电压 | 1 ～ 8kV | |
| 倾斜角 | Up to 6°(0.1°/步) | |
| 离子束直径 | 500μm(FWHM) | |
| 研磨速率 | 5m/min (加速电压:8 kV, Si换算) | |
| 使用气体 | 氩气 | |
| 最大样品尺寸 | 2.8mm(长度)×0.5 mm(宽度)×0.1mm(厚度) | |
| 压力测试 | 潘宁规 | |
| 主抽真空系统 | 涡轮分子泵 | |
| CCD相机 | 内置 | |
| 尺寸 重量 | 主机 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg |
| 机械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | |
| 液晶显示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | |
离子切片仪EM-09100IS
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