高精度薄膜测量设备
型号:: Nanothi 100
价格:请致电:010-57128832,18610462672
品牌: 美国    产品商标: aep technology

  • 技术参数

    Nanothi 100技术规格
    可测薄膜
    可测膜层 Oxide、Nitride、BPSG、PR、PI、Polymer、Polysilicon、ITO等
    膜层结构 Oxide/Si、PR/Si、Nitride/Si、Polysilicon/Oxide/Si 等单、多层结构
    测量参数 T,N,K,R
    测量范围 25nm - 20µm (Oxide/Si)
    硬件规格
    光谱范围 400-800nm
    物镜倍率 4X 10X 40X
    光斑尺寸 最小30µm
    机械分辨率 X:1µm, Y:1µm, Z:0.04µm
    测量指标
    250Å-2000Å 2000Å-20µm
    准确度 ±1% ±1%
    重复性(3б) 0.75Å 0.05%
    稳定性(3б) 2.4Å 0.25%
    测量时间 单点 < 3sec, 5点 <30sec

    • 主要特点

    先进的光学测量技术

    高精度、高重复性测量

    稳定、使用寿命长且低成本的光源

    高性能PDA

    自动调焦

    三维全自动机械平台

    贴近生产实际操作习惯的软件系统,为测量提供快捷、方便易用的操作

    数据的准确测量与实时评价

  • SH101732-106970.rar