仪器简介：LCMK-EM微弱电流测量装置，是专为MM3A-EM开发的电流测量工具，具有低电阻、低噪音的优点。测量精度可达1pA。LCMK-EM采用了一种双重屏蔽的导线以减少电流渗漏，并使输入电流放大到最大。大气一边的输出可以直接连到一个SMU上，以使级数电阻尽可能低。技术参数：Current Measurement limit 1 pA Insulation leakage current 50 fA at 1V Signal Conductor Resistance 0.9Ω Maximum voltage 210V Maximum current 200 mA 主要特点：LCMK-EM安装在纳米显微操纵仪前端，对电信号的及其灵敏，广泛应用于半导体微电流测量及失效分析。