20-50000X，分辨力优于15nm，加速电压5-10-25KV，移动±7.5mm,倾斜±45°，旋转360°，极限真空6.5x10-3Pa,二次/散射电子图像，可配稳压器、示波器、转椅真空测量单元、万用表膜机、循环水冷却机、单片照相机、离子溅射仪