聚焦离子束激光离子化纳米质谱成像系统 (FILMER)

                  ---纳米尺寸表面质谱成像

FILMER基于二次离子质谱技术，集成了聚焦离子束，扫描电子显微镜和激光器。

功能

・ 二次离子质谱

                                           

原理

用聚焦离子束溅射试样表面，收集和分析排出的二次离子；

数据采集

这些二次离子的质量/电荷比及质谱可确定元素，同位素，或分子组成；

・激光二次中性质谱（Laser-SNMS）

                                             

原理

用聚焦离子束溅射试样表面，使用激光共振电离大多数溅射中性原子；

数据采集

与二次离子质谱相同

・聚焦离子束精细加工

                                         

可以通过连续Ga聚焦离子束连续溅射样品表面除去想要除去的部分；

・二次离子质谱及扫描电子显微镜观测

                       

可实现二次离子质谱及扫描电子显微镜两种观测方式；

         

 

主要特点：

1. 高空间分辨率

□ 横向分辨率 < 40nm

□ 质谱分辨率 m/Δm >7000@m/z=56

2. 可原位加工和分析，避免暴露于空气中

□ SEM小损伤观测，可定位值FIB相同位置；

□ 可分析颗粒表面及横截面；

3. 可实现激光二次中性质谱

□ 与传统SIMS相比可显著改善信号灵敏度；

□ 高灵敏度的有机化合物分析；

 

 

 

 

性能   原始束流 30kV Ga+ 横向分辨率 40 nm 测量范围 500μm ~ 500nm 质谱分析 飞行时间（TOF） 质谱分辨率（m/z = 56) m/Δm = 7000 激光器 飞秒激光器 激光波长 1030nm, 515nm, 355 nm, 257nm 激光能量 10W / 1mJ (1030nm) 扫描电子显微镜 30kV  ~ 5 kV 扫描电子显微镜横向分辨率 ＜30nm 样品尺寸 X1cm×Y1cm×Z3mm 机械操作 5轴 可选 电荷中和装置, 转移容器,等

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