日立（SEA1000AII、EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、SFT-110、FT-110、FT9355、FT9550、SFT9500X、SFT9550X）SFT-110系列产品,搭载了高性能X射线管，实现了高精度的测定。SFT-110极微小准直管和可变焦距光学系统的组合，实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。

 

1．SFT-110搭载了50W高性能X射线管。

2．SFT-110搭载标准的Φ50μm微小准直管（最小Φ15μm）。

3．容易对微小领域进行观察。SFT-110搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。

4．依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。

5．SFT-110搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。

6．搭载了焦点切换功能，FT-110能够对有高度的样品的低部分进行测定。

7．SFT-110利用伺服马达精确的驱动平台。

7．SFT-110运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。