LAwave;是一种测量设备，通过发射一束激光脉冲，在样品表面激发表面声波，对薄膜或者材料表面进行检测。表面声波是沿着材料表面传播的弹性震动波，弹性形变的范围在纳米范围，因而检测过程不会对材料本身造成损伤。声波的穿透深度与其波长相对应，波的能量主要集中在表面，因此它能检测厚度远小于波长的薄膜。对于频率较高的声波，其波长更短，穿透深度也更小，所以表层薄膜对他的影响也更大。该设备测量不同频率的声波的传播速率与频率的关系，测量结果以“色散曲线”的形式表现出来。“色散曲线”的形状取决于薄膜与衬底材料的弹性模量（杨氏模量）、密度，以及薄膜的厚度。通过对测量曲线的与理论曲线的拟合对比，可以得到这些参数中的一个或者几个。样品表面微结构的梯度变化，例如加工层，也可以被检测。

 

 

该设备具有广泛的应用领域。被测量薄膜的厚度可以低至几纳米，薄膜的材料可以是超硬的，如类金刚石镀膜，也可以是软质的，如聚合物。通过调节表面声波的频率范围，还可以检测表面粗糙的热涂层薄膜。

 

材料的弹性模量（杨氏模量）是一个很重要的参数，它反映了材料内部原子间相互作用的强弱。材料的原子间键合越强，弹性模量越高，其机械性能也越好。同时，材料内部的微结构对弹性模量也有很大的影响，微缺陷和孔隙都会降低材料的弹性模量，因而可以通过测量弹性模量来评估材料的缺陷密度和孔隙率。

 

主要特性：

 

• 无损测量

• 薄膜的厚度可以从几纳米到几百微米

• 检测材料范围广，从聚合物到金刚石都可以

• 测量时间小于一分钟

• 重复性好

• 操作方便

• 结构简单

• 检测区域：最小5x5mm

• 对测试样品几何结构要求不高

• 表面粗糙度的影响小

• 符合EN15042-1标准

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