SCALA扫描式激光形貌仪特点： 静态和动态都可测量 是无接触测量，可测液体环境下的物质。且静态和动态都可测量 不需要特别的反射率，对于几乎透明的材料都能获得很好的测量结果，如SU8胶。 可专门针对研究纳米机械传感器，如悬臂梁，桥，薄膜等 无需聚焦得到图像，可测不平度比较大的表面。 与AMF对比： Z方向与AFM一样，都能获得亚纳米分辨率 在水平方向的分辨率不如AFM，SCALA只能达到微米分辨率，但可测大面积样片 与轮廓仪对比： 轮廓仪测不了动态特性及液体环境，且它需要高反射率。 与白光干涉仪对比： 白光干涉仪测量快，分辨率高，但得不到动态特性，当样品表面不平度比较大时，白光干涉仪无法聚焦。SCALA无需聚焦，可测大面积样片。 与振动计对比： 振动计只用于测动态特性，且他们必须人工来找到每个器件（如每个悬臂梁），SCALA自动找到器件，且能测量的频率很高，可达1MHz，SCALA动态静态特性都能测。