微系统 MicroSystems自技术工具和方法得来的生物化学诊断和组合化学方面的受益正在日益增加。GeSiM的硅显微机械加工提供的不仅是微型分液装置。微小复杂的流体包括像毛细管和反应器一类的结构可依用户的需要整和成单独的一个芯片。可用于微量的样品处理、电化学离子检测或操作极小的生物粒子。现在最流行的称呼Lab-on-Chip。