这些试样非常适合比较放大率和评估图像场中的任何失真。理想情况下，在自动计数系统中，检查未预料到的失真是非常有用的。

由5×5 m m正方形的单晶硅光蚀刻而成，每10μm重复一次。分界线为1.9μm宽

每500μm写入一条更宽的蚀刻线，这在光学显微镜中很有用。在必须进行关键测量的地方，样品可以直接安装在校准样品上，以便在显微图上获得内部校准。

这些试样非常适合比较放大率和评估图像场中的任何失真。理想情况下，在自动计数系统中，检查未预料到的失真是非常有用的。

由5×5 m m正方形的单晶硅光蚀刻而成，每10μm重复一次。分界线为1.9μm宽

每500μm写入一条更宽的蚀刻线，这在光学显微镜中很有用。在必须进行关键测量的地方，样品可以直接安装在校准样品上，以便在显微图上获得内部校准。